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靶材溅射完之后半边中毒发乌是怎么回事?

2020-06-02

       问题:反应磁控溅射技术堆积氮化锆薄膜。靶材料为2英寸,溅射气体为氩,混响气体为氮气,功率为300W,射频电源已堆积2小时。之后,取出目标,看到标题中描述的场景。这是目标中毒或其他原因,但为什么只需要一半呢?下面金沙casino娱乐场对溅射靶材料的详细先容。

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       原因分析一:可能与引进射频电源有关

       原因分析二:这么小的目标,两英寸?平均冷却

       原因分析三:这样一个300W功率的小目标能跟得上冷却吗?我怀疑冷却不足以使一半的头发变黑!

       原因分析四:没有冷却。太热了

       原因分析五:可能与功率过高有关。我直径60的目标功率只能增加到100瓦左右

       原因分析六:两小时内供电是否稳定?可能是能量太高,也可能是目标的一侧接触到接地部分

       原因分析7:怀疑气密性能,该集团认为

       处置定见1:权利要求1)检查气体平均值;2)一侧是否漏气?

       处置定见:建议做一个XPS分析,或者做另一个实验。

       结论:综合以上分析,造成目标物中毒的主要原因是高温穿越、供电不稳定、煤气平均值和气密性。检查这些能力的主要原因,并逐步清理它们。

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