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金沙casino娱乐场将讲靶材的性能

2019-05-22

      宝鸡金沙casino娱乐场说纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。

      杂质含量:天津合金靶材厂家说不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。如半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。 

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      密度:金沙casino娱乐场说靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。 

      晶粒尺寸及晶粒尺寸分布:通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

      以上就是金沙casino娱乐场为大家先容的靶材的主要性能,希翼可以帮到大家。


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